No exigente mundo da fabricação de semicondutores, onde pureza e precisão são imprescindíveis, cada componente importa — especialmente soluções de vedação É aqui que Perfluoroelastômeros (FFKM) destacar-se como o campeão indiscutível.

A fabricação de semicondutores envolve condições extremas: ambientes de plasma agressivos, altas temperaturas (frequentemente superiores a 300 °C) e exposição a produtos químicos e agentes de corrosão potentes. Elastômeros padrão, como FKM (Viton®) ou silicone, podem se degradar, levando à geração de partículas, contaminação de ferramentas e paradas não planejadas dispendiosas.

O FFKM oferece um conjunto único de propriedades que abordam diretamente esses desafios:

Resistência química excepcional: Sua estrutura totalmente fluorada proporciona resistência quase universal a produtos químicos agressivos utilizados em processos químicos, plasma e agentes de limpeza agressivos como O₃, HF e soluções de SC-1/SC-2.

Pureza Ultra-Alta: Os componentes FFKM apresentam níveis extremamente baixos de metais extraíveis e impurezas iônicas, prevenindo a contaminação que pode danificar wafers sensíveis.

Estabilidade térmica superior: Ele mantém a elasticidade e a força de vedação em altas temperaturas contínuas, enquanto outros elastômeros endureceriam e falhariam.

Excelente resistência ao plasma: Fundamental para câmaras de gravação e deposição, o FFKM resiste à erosão e à formação de poeira causadas pela exposição direta ao plasma, minimizando a geração de partículas.

Principais aplicações na fábrica:

CMP (Planarização Químico-Mecânica): Vedações e diafragmas para manuseio de pastas abrasivas.

Câmaras de corrosão e CVD (Deposição Química de Vapor): Anéis de vedação, juntas e juntas críticas em módulos de processamento de wafers.

Manuseio de wafers: Vedações em robôs, eclusas de carga e módulos de transferência.

Processamento úmido: Vedantes para banhos e tubulações que transportam ácidos e solventes ultrapuros.

Embora o FFKM represente um investimento inicial maior, seu valor é evidente: ele maximiza o tempo de atividade das ferramentas, protege o rendimento e garante a integridade do processo. Em um setor impulsionado por nós cada vez menores e controles de contaminação mais rigorosos, o FFKM não é apenas um material — é um facilitador vital da fabricação avançada de semicondutores.