JST KALFLUO 8520 é um tipo de material FFKM especialmente curado para aplicações de alto desempenho , com alta pureza, boa resistência química e propriedades de estabilidade ao calor. É usado principalmente para aplicações de fabricação de semicondutores , que é um material de vedação ideal para a maioria dos processos de semicondutores secos ( gravação de plasma , PECVD, LPCVD, CVD de metal, PVD, ALD, limpeza de plasma) e úmidos (limpeza de wafer, remoção de polímero, gravação úmida, polimento).

É adequado para aplicações em temperaturas que variam de –10°C a 300°C.

Propriedades físicas do KALFLUO 8520:

Propriedades de resistência a fluidos do KALFLUO 8520:

Detecção de elementos metálicos (imersão em solvente) do Kalfluo 8520:

Detecção de precipitação de elementos metálicos em água UPDI 18M Ω a 80 ℃ por 720 horas, partes por bilhão (ppb, ug/L) ICP-MS-MS)

Resultado do teste:

Observações: 1- Valor limite de detecção: 1ppb; 2- ND=Não detectado.