À medida que a fabricação de semicondutores avança para processos mais sofisticados, os ambientes operacionais tornaram-se extremamente exigentes — altas temperaturas, plasmas agressivos, gases químicos corrosivos e rigorosos requisitos de pureza impõem desafios quase cruéis aos materiais de vedação. A JST lançou a série Kalfluo® de soluções de vedação de perfluoroelastômero (FFKM) , dedicada a atender aos padrões de alto desempenho e alta confiabilidade exclusivos das principais marcas internacionais.

Por que o FFKM é a escolha inevitável para Vedação de semicondutores ?

O FFKM representa o mais alto nível de desempenho em materiais elastoméricos. Sua estrutura molecular totalmente fluorada lhe confere propriedades incomparáveis:

• Resistência química excepcional: suporta quase todos os meios químicos, incluindo ácidos fortes, álcalis, solventes e diversas substâncias polares, apresentando um desempenho excepcionalmente bom em processos de limpeza e gravação úmida.
• Excelente resistência a altas temperaturas: Nossa série Kalfluo® opera com eficiência de -10 °C a 300 °C. Por exemplo, nosso Grau 8520 mantém o desempenho de vedação sob exposição prolongada em ambientes de temperaturas ultra-altas, como fornos LPCVD e epitaxiais.
• Baixa desgaseificação e emissões: minimiza as emissões voláteis sob condições de vácuo de alta temperatura, evitando a contaminação da câmara de processo e protegendo a pureza da deposição de película fina e do manuseio de wafers.
• Resistência superior à erosão por plasma: resiste efetivamente ao bombardeio de plasma em processos como corrosão a seco e PECVD, reduzindo problemas de superfície como pulverização, rastreamento e rachaduras para maior vida útil.
• Baixa compressão: mantém excelente elasticidade e recuperação mesmo sob calor e pressão prolongados, garantindo vedação durável e estável.

Selos JST fornece não apenas o padrão Selos FFKM mas também suporte abrangente — desde a seleção de materiais, projeto estrutural e simulação FEA até a produção em salas limpas Classe 10000. Garantimos que cada produto atenda às extremas exigências de confiabilidade e limpeza da indústria de semicondutores.