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Anéis de vedação FFKM de alto desempenho: soluções avançadas de vedação para fabricação de semicondutores

Anéis de vedação FFKM de alto desempenho: soluções avançadas de vedação para fabricação de semicondutores

  • May 20. 2025

O indústria de semicondutores exige precisão, confiabilidade e ambientes livres de contaminação para garantir processos de produção impecáveis. No centro desta missão estão soluções de vedação especializadas, capazes de suportar condições extremas. Anéis de vedação FFKM (perfluoroelastômero) surgiram como o padrão ouro para aplicações críticas na fabricação de semicondutores, oferecendo resistência incomparável a produtos químicos agressivos, exposição a plasma e temperaturas ultra-altas.


Por que o FFKM supera os materiais tradicionais em aplicações de semicondutores

Anéis de vedação de perfluoroelastômero (FFKM) possuem ligações de carbono-flúor, o que os torna um dos polímeros fluorados mais estáveis termicamente, oxidativamente e quimicamente.


Para processos como gravação de plasma, deposição química de vapor (CVD) e limpeza de wafers, Selos FFKM manter a integridade onde outros materiais se degradam, evitando a geração dispendiosa de partículas ou tempo de inatividade não planejado.


JST desenvolveu os produtos de vedação FFKM KALFLUO® para atender às necessidades de vedação cada vez mais exigentes de fabricantes e usuários de equipamentos nas indústrias de semicondutores, petroquímica, instrumentação, energia, biofarmacêutica, alimentícia e médica.


ffkm seals

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