A borracha perfluoroéter (FFKM) é um material de vedação de alto desempenho, cujo excelente desempenho levou à sua aplicação em todo o sistema de fabricação de produtos semicondutores. O selo FFKM é um dos principais consumíveis necessários para a produção de circuitos integrados.

Principais características de desempenho do FFKM:

1) Propriedades físicas

FFKM tem uma densidade de 1,9-2,0g/cm ³, suas propriedades físicas e mecânicas são semelhantes às da borracha fluorada e sua resistência à compressão em alta temperatura é superior à da borracha fluorada.

2) Resistência química

Semelhante ao PTFE, o FFKM não é afetado por nenhum meio, exceto certos solventes com alto teor de fluorocarbono, e é resistente a mais de 1600 solventes químicos, como ácidos fortes, bases fortes, solventes orgânicos, vapor de temperatura ultra-alta, éteres, cetonas, ésteres, nitrogênio compostos, carbonetos de hidrogênio, álcoois, aldeídos, furanos e compostos de amina.

3) É resistente a altas e baixas temperaturas, e sua temperatura operacional é geralmente de 260~290 ℃. Pode ser usado intermitentemente para altas temperaturas de 316 ℃.

4) Resistência ao vapor de alta temperatura

5) Baixa liberação e precipitação

6) Resistência de plasma, que exibe características de alta limpeza e baixa precipitação em um ambiente de plasma e pode resistir ao impacto do plasma por um longo tempo.

Aplicações de semicondutores de FFKM

Na fabricação de semicondutores, a confiabilidade das juntas elastoméricas é crucial, e o custo de substituição das juntas quando a produção é interrompida é extremamente alto. Para evitar riscos potenciais, os requisitos de limpeza e pureza das vedações são muito rigorosos. Ao mesmo tempo, as vedações devem ser capazes de trabalhar sob pressão de alto vácuo e gases químicos corrosivos e em ambientes de alta temperatura por um longo período de tempo.

O FFKM é uma matéria-prima cara e é frequentemente usado para requisitos de vedação exigentes que outras borrachas não podem atender, como a fabricação de semicondutores. O FFKM é resistente à corrosão por plasma, corrosão por gás, corrosão ácida e alcalina, corrosão por alta temperatura e altos requisitos de limpeza para vedações de borracha , ajudando a manter a integridade da vedação, reduzindo os tempos de manutenção e melhorando a segurança. É o melhor material de vedação para fabricação de semicondutores.